Neue Baureihe: Vakuumgebläse mit hermetischem Antrieb

Die Aerzener Maschinenfabrik GmbH baut seit 1868 ­Gebläse (Bauart Roots) und zählt zu den weltweit ältesten und ­
größten Herstellern und ist ein führendes Unternehmen auf dem Europäischen Markt. Speziell in der Vakuumtechnik kann ­Aerzen auf über 60 Jahre Erfahrung zurückblicken. Basierend auf den erfolgreichen Spaltrohrgebläsen für aggressive Gase in der Solar- und Halbleitertechnik hat die Aerzener Maschinenfabrik nun den Baukasten um neue hermetische Antriebe für den industriellen Einsatz mit nicht ­aggressiven Gasen erweitert
(Bild).

 

Als erste Baugrößen stehen die Typen GM 8000 HM und
GM 9500 HM für Volumenströme im Bereich von 8000 m³/h
bis 15 300 m³/h bei Drehzahlen von 50 Hz und 60 Hz zur Verfügung. Durch die hermetische Ausführung kann ein ­
Vakuum von 10-5 mbar (abs.) erreicht werden. Weitere Bau­größen im mittleren Volumenstrombereich von 2000 m³/h bis 7500 m³/h werden voraussichtlich ab Sommer 2009 im Markt eingeführt werden, so dass insgesamt sieben unterschiedliche Maschinengrößen angeboten werden können. Die neuen Antriebe sind ebenfalls wassergekühlt und werden mit einem neuartigen Spaltrohr ausgeführt, so dass die Energie­effizienz der Motore um bis zu 30  % ansteigt. Durch den hermetischen Motor entfällt die Wellendurchführung zur Atmosphäre, mögliche Ölundichtigkeiten gehören somit der Vergangenheit an. Gleichzeitig können die Drehzahlen mittels Frequenzumrichterbetrieb auf bis zu 120 Hz erhöht werden, d.  h. kleinere Maschinen erreichen einen höheren Volumenstrom. Hieraus ergeben sich erhebliche Kostenvorteile und Möglichkeiten zur Reduzierung der Einbaumaße. Je nach Prozessart können drei unterschiedliche Motorvarianten eingesetzt werden:  Für den Durchlaufbetrieb (Prozesskammern) stehen Motoren mit einer maximalen Belastbarkeit von 70 mbar zur Verfügung, für zyklischen Betrieb (Schleusenkammern) Motoren mit einer Belastbarkeit bis zu 250 mbar, wodurch kürzeste Pumpzeiten realisiert werden können. Ergänzt wird die Motorpalette durch Netzmotore für 50 bzw. 60 Hz.

 

Die wesentlichen Vorteile der neuen Vakuumgebläse liegen in einer optimalen Auswahlmöglichkeit durch die weltweit größte Spaltrohr- und Hermetik-Baureihe sowie durch drei zusätzliche Motorvarianten. Der Kunde kann hier aus einem umfangreichen Baukastensystem den für seine Anwendung optimalen Gebläse-Motor-Typ auswählen. Dabei stehen Maschinen für den Einsatz mit nicht aggressiven Gasen (PVD-Anwendungen) wie auch für aggressive Gase (CVD-Anwendungen) sowie mit unterschiedlichen Motorvarianten für den Betrieb an Schleusen- oder Prozesskammern zur Verfügung. Darüber hinaus zeichnen sich die Aerzener Gebläse durch eine hohe mechanische Belastbarkeit (bis 250 mbar) aus, die eine erhebliche Verringerung der Abpumpzeiten ermöglichen. Die Wasserkühlung des Motors der Aerzener Gebläse gewährleistet zudem auch den Einsatz unter Reinraumbedingungen. Des weiteren sind die Vakuumgebläse für die ATEX-Zone 0 (intern) baumustergeprüft und zertifiziert.


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